TOKYO RYUKI东京流机 面积式流量计
广泛用于半导体晶圆清洗微量水路监测、实验室化学试验药液配比、小型气体吹扫供气监控、精密设备冷却循环水路、涂布 / 点胶设备微量介质输送、小型环境试验箱气路流量管控、高校科研小型流体试验装置内置流量检测。

TOKYO RYUKI东京流机 面积式流量计

• 测量量程：液体 0.1～1L/min；气体 2～20NL/min，量程比 10:1

• 测量精度：全量程 ±5% FS

• 承压耐温：最高使用压力 1.0MPa，介质最高温度 80℃

• 主体材质：壳体 / 浮子 SUS316 不锈钢，锥管高透硬质玻璃

• 安装要求：垂直安装，流体流向自下而上

• 可选配置：下限磁簧报警开关，流量低于阈值输出开关信号

TOKYO RYUKI东京流机 面积式流量计

超紧凑机身，设备内嵌专用设计

相比常规转子流量计体积大幅缩小，高度仅 100/130mm，专为设备内部狭小空间开发，是自动化仪器、小型工艺机台标配微量流量仪表，安装布局灵活。

不锈钢全过流结构，洁净耐腐

浮子、上下接头、流通壳体统一 SUS316 材质，无橡胶、普通碳钢接触介质，不易生锈、析出金属离子，符合实验室、半导体洁净流体使用标准。

无源基础测量，搭配报警实现电控联动

基础款无需供电，依靠目视完成流量巡检；带报警款仅弱电信号输出，接线简单，可快速接入设备控制系统，兼顾简易手动监测与自动化安全防护两种需求。

宽工况适配，稳定耐用

最高承压 1MPa、耐温 80℃，常规工业、实验室常温 / 中温介质均可适配，浮子悬浮运行阻力小，长期连续使用无卡顿，刻度长期清晰不磨损。

安装调试简单，维护成本低

仅需垂直固定、对接管路即可投入使用，无复杂校准工序；零部件标准化，玻璃管、浮子可单独更换，无需整台替换，长期运维投入更低。