半导体/激光/实验室一表搞定｜RYUKI FLO-PL1 流量计产品介绍

更新时间：2026-07-22

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RYUKI东京流机 FLO-PL1 面积式流量计

RYUKI东京流机 FLO-PL1 面板嵌入式高精度面积式流量计，是一款真正意义上的精密设备流量监测全能仪表——半导体设备、激光冷却、实验室分析、电镀产线，一表覆盖四大专业场景。

半导体湿法清洗与刻蚀设备——药液供给管路的微小流量需要精准监测，任何流量波动都可能影响晶圆良率。FLO-PL1的±2% FS精度配合10:1量程比，确保清洗药液流量稳定可控。激光器与水冷设备——激光器的冷却水路一旦断流或流量不足，轻则影响光束质量，重则烧毁激光腔体。FLO-PL1可加装磁性低流量报警开关，实现断流与缺水联锁保护，输出开关信号接入PLC控制系统。实验室气液配比与分析仪器——研发测试中经常需要精确控制微小流量。FLO-PL1可测0.01L/min微量液体、0.1NL/min微量气体。电镀与表面处理产线——药液循环管路需要持续监控。可选Viton氟橡胶密封件适配弱酸弱碱药液。亚克力全包围护罩阻挡液体飞溅与粉尘，玻璃管不易磕碰破损。RYUKI FLO-PL1——半导体、激光、实验室、电镀，一表搞定。

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