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小流量泵吸适配狭小点位,TEMTOP PMS 21在设备腔体与风管出口布点

更新时间:2026-10-30      浏览次数:5

TEMTOP乐控 PMS 21 高精度粒子计数器

TEMTOP乐控 PMS 21 高精度粒子计数器

PMS 21是TEMTOP乐控推出的在线式高精度远程粒子计数器,定位为半导体高等级洁净车间、锂电无尘产线、生物医药洁净区等场景的固定式连续监测设备。与手持式粒子计数器的核心区别在于:PMS 21不依赖人工手持巡检,而是长期安装于监测点位,实现全天候数据采集与上传,捕捉手持抽检容易遗漏的瞬时颗粒物爆发事件。

从检测能力看,PMS 21可同时监测七档粒径:0.3μm、0.5μm、0.7μm、1.0μm、2.5μm、5.0μm、10.0μm,覆盖ISO 14644洁净室分级的关键粒径通道。采样方式为内置真空气泵主动泵吸,流量2.83L/min(误差±5%),属于小流量在线监测路线。这一规格的工程意义在于机身紧凑,适合安装在工艺操作台旁、风管出口、设备腔体内部等空间受限的监测点位,而非仅能部署于墙面或立柱。0.3μm通道计数效率为50%,0.5μm及以上通道计数效率达100%。

在硬件可靠性层面,PMS 21采用全金属精密光学机结构,旨在抵御车间变频器、大型设备产生的电磁干扰与机械振动,降低长期连续运行中的数据漂移风险。核心光源为工业级激光器,设计运行寿命约20,000小时,对应7×24小时不间断生产模式下较长的维护更换周期,减少因设备检修导致的监测中断。通讯方面标配RS485接口,支持Modbus RTU协议,可直接接入工厂FMCS楼宇中控系统、MES生产管理平台或上位机软件,实现数据集中存储、远程查看与超标报警联动。

在合规与认证层面,PMS 21的校准符合ISO 21501及JJF1190-2008标准,具备CE认证,监测数据可用于洁净室等级验证、客户审核及GMP合规检查。该产品在半导体晶圆制造与封测车间、锂电涂布与卷绕工位、医药无菌灌装线、精密光学实验室等场景中具有明确的适配性。对于需要从“人工巡检抽检"升级为“在线连续管控"的洁净环境而言,PMS 21提供了一套将七通道检测、工业级光机与标准工业通讯集成于紧凑机身的在线监测方案。


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