TRIN高柳 TAS-811 SFS-0390 静电对策离子发生器
TRIN高柳 TAS-811 SFS-0390 静电对策离子发生器
在精密制造领域,静电问题长期制约产品良率提升,薄膜、光学基板、半导体封装等工序极易因静电吸附粉尘,引发元件击穿、表面划伤、异物不良等品质事故。传统离子消除设备大多依靠风机或者压缩空气输送离子,气流扰动会卷起微颗粒,造成二次污染,在洁净度要求严苛的产线中存在明显局限性。无风空间静电消除技术,依托电晕放电产生正负离子,依靠库仑力驱动离子在空间自然扩散,无需任何送风机构,能够对整个作业空间的带电体与悬浮粉尘电荷进行中和,构建局部无静电空间,也被称作无墙洁净室技术。
该技术核心工作机制是高压电极发生电晕电离,持续生成等量正负离子,离子在电场作用下向四周扩散,与空间内带电物体、悬浮颗粒接触后中和电荷。当工件表面带有正电荷,环境中的负离子就会附着中和;带负电荷时正离子完成抵消。悬浮粉尘失去静电吸附力,不再粘附基板、薄膜与元器件表面,从源头减少异物不良。整套系统无风机运转,不会产生气流扰动,不存在扬尘风险,运行噪音低,在干燥环境条件下依旧可以稳定发挥除静电效果,无需额外配套加湿系统,大幅降低车间配套改造投入。
从设备结构来看,无风空间离子发生装置主体为长条棒体结构,放电针组件支持快速拆卸清洁,日常维护操作简单便捷。多支棒体可进行串联组合,灵活扩展覆盖区域,适配不同尺寸工位与设备腔体。基础款机型主打长时间连续稳定运行,功耗水平低,适合大批量工位部署;同系列升级型号搭载离子浓度监测传感器,可实时反馈空间离子状态,满足更高等级制程管控需求。设备符合 RoHS、CE 相关标准,在洁净车间使用具备可靠安全性。