告别离子发生器金属污染与维护烦恼｜SSD西西蒂IRYSYS光照射型除电装置

更新时间：2026-09-14

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SSD西西蒂 IRYSYS 光照射型除电装置

在半导体晶圆制造、FPD面板生产、精密电子组装等对洁净度要求高的场景中，最让人头疼的无外乎三个问题——金属污染：传统电晕放电型离子发生器的放电针溅射产生金属性异物，污染晶圆和精密工件；维护频繁：放电针需要定期清洁甚至更换，停机维护影响产线效率；惰性气体环境失效：在N₂、Ar等惰性气体中，传统离子发生器的除电性能大幅下降甚至失效。SSD西西蒂 IRYSYS 光照射型除电装置，正是为解决这些痛点而生。

告别金属污染——采用软X射线直接电离气体分子，不使用放电针。不产生灰尘，电磁杂讯也几乎不发生，从根源上杜绝了金属溅射污染。

告别维护频繁——无需日常维护，仅需依软X射线管头的耐用期限（8000小时）更换即可。

告别惰性气体环境失效——由于是光直接离子化气体分子，在大气压下在N₂、Ar等不活性气体中同样可除电。

告别离子过冲——正负离子平均分布于空间内，除电对象物的残留电位可定为0V，不会造成反向带电。

SSD西西蒂 IRYSYS——用软X射线直接电离技术与零维护设计，终结高洁净度静电消除的种种烦恼。