OTSUKA大塚电子 膜厚监测仪
大塚电子膜厚监测仪兼顾实验室研发试样检测与工业化产线在线实时监控，实现各类薄膜非接触高精度膜厚连续管控，助力镀膜、涂布、研磨工艺稳定与良率提升。

日本大塚电子（OTSUKA）是分光干涉式光学膜厚检测领域厂商，全系膜厚仪依托自主分光干涉法（反射光谱分析法），实现非接触、非破坏性薄膜厚度检测。产品覆盖实验室台式、显微单点、手持式、产线在线点测、线扫描全域检测全系列机型，适配纳米级超薄膜至百微米厚膜，可解析单层、多层薄膜厚度以及折射率 n、消光系数 k 等光学常数，广泛服务半导体、显示光学膜、精密涂层、新能源材料行业，兼顾研发实验室抽检与量产生产线实时监控需求。

OTSUKA大塚电子 膜厚监测仪

设备核心采用分光干涉法：宽波段光源通过光纤照射样品表面，薄膜上界面、下界面产生两束反射光，形成干涉光谱；内置光谱探测器采集反射光谱曲线，通过 FFT 快速傅里叶变换算法，结合多套解析模型运算，精准解算出薄膜厚度。

测量全程无需接触样品，不会划伤膜层，可兼容真空腔体、连续涂布产线、晶圆研磨设备等复杂工况。

OTSUKA大塚电子 膜厚监测仪

• 半导体行业：晶圆氧化膜、氮化膜、光刻胶、SOI 膜层厚度监控；

• 显示 FPD 行业：ITO 导电膜、PI 取向膜、光学胶、偏光片涂层检测；

• 光学薄膜：AR 增透膜、DLC 硬质涂层、滤光片多层膜、防指纹涂层；

• 功能涂布卷材：PET/PEN 基材硬化涂层、胶粘剂、保护膜、银纳米线导电膜；

• 精密光学元件：透镜镀膜、蓝宝石、化合物半导体薄膜检测。