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爱发科隔膜干泵全程无油干式设计,依靠隔膜往复运动抽取气体,无油蒸气污染;分为DTC 耐腐蚀系列、DAU 高真空标准系列、DTU 高真空耐腐蚀复合系列三大类,覆盖普通溶剂、强腐蚀酸碱气体、高真空微量抽气工况,适配实验室化学、分析仪器、小型镀膜、半导体微量工艺,体积小巧、低振动、内置过热保护,维护简单。
ULVAC爱发科 隔膜型干泵 北崎新品
两级串联泵腔,压缩比大幅提升,极限真空可达200Pa,远优于 DTC 耐腐蚀系列;低振动静音结构,专为微量高真空需求设计,仅适用于洁净、无腐蚀干燥空气。
兼顾 DAU 高真空性能与 DTC 全通路防腐,是同时满足200Pa 极限真空 + 强腐蚀耐受的隔膜干泵,二合一复合型机型。
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安装要求
进气前端加装缓冲过滤瓶,拦截液体、粉尘,避免溶剂倒吸腐蚀泵头;环境温度 7~40℃,无雨水喷淋。
开机流程
检查管路密封→空载运行 3 分钟→接入腔体抽真空;长期停机前通入洁净空气吹扫泵腔,排空残留腐蚀蒸汽。
日常维保
每日:检查排气有无溶剂积液,清理前端过滤器;
季度:更换膜片、阀片耗材套件(原厂配套维修包);
年度:整机清洁泵腔,校准真空性能。
使用禁忌
DAU 标准高真空款禁止抽取任何腐蚀、有机溶剂蒸汽;所有型号禁止长时间在大气压附近持续运行,易加速膜片老化。