ULVAC爱发科 隔膜型干泵 北崎有售
DTC 耐腐蚀隔膜干泵适配各类化学腐蚀溶剂中真空抽气实验，DAU 高真空标准款用于洁净微量高真空预抽，DTU-20 复合款同时满足腐蚀介质与 200Pa 高真空双重需求，覆盖实验室化学、精密分析仪器、小型半导体微量真空工艺。

爱发科隔膜干泵全程无油干式设计，依靠隔膜往复运动抽取气体，无油蒸气污染；分为DTC 耐腐蚀系列、DAU 高真空标准系列、DTU 高真空耐腐蚀复合系列三大类，覆盖普通溶剂、强腐蚀酸碱气体、高真空微量抽气工况，适配实验室化学、分析仪器、小型镀膜、半导体微量工艺，体积小巧、低振动、内置过热保护，维护简单。

ULVAC爱发科 隔膜型干泵 北崎有售

所有与气体接触腔体、膜片、阀片、管路全部采用PTFE 聚四氟乙烯 + FPM 氟橡胶材质，耐受盐酸、硝酸、有机溶剂、酸碱蒸汽、弱腐蚀工艺尾气，无金属腐蚀风险；双级泵腔结构，极限真空稳定至 1000Pa，属于中真空耐腐蚀机型。

ULVAC爱发科 隔膜型干泵 北崎有售

• 安装要求

  进气前端加装缓冲过滤瓶，拦截液体、粉尘，避免溶剂倒吸腐蚀泵头；环境温度 7~40℃，无雨水喷淋。

• 开机流程

  检查管路密封→空载运行 3 分钟→接入腔体抽真空；长期停机前通入洁净空气吹扫泵腔，排空残留腐蚀蒸汽。

• 日常维保

  每日：检查排气有无溶剂积液，清理前端过滤器；

  季度：更换膜片、阀片耗材套件（原厂配套维修包）；

  年度：整机清洁泵腔，校准真空性能。

• 使用禁忌

  DAU 标准高真空款禁止抽取任何腐蚀、有机溶剂蒸汽；所有型号禁止长时间在大气压附近持续运行，易加速膜片老化。