Fluoro福乐 手动吸嘴 进口
真空笔仅可吸附 5 英寸晶圆背面，严禁接触正面光刻、金属线路层，负压会损伤电路结构。

Fluoro福乐 手动吸嘴 进口

• 适配工件：5 英寸硅晶圆、薄型衬底、玻璃载片

• 负压区间：0~-80kPa 无级调压，稳定吸附 100~450g 晶圆

• 笔身总长 248mm，整机仅 38~40g 轻量化设计

• 防静电电阻率：10⁶~10⁹Ω，ESD 一级防护标准

• 洁净等级：Class100 百级无尘适配，低发尘 PTFE 一体成型

• 工作温区：-10℃~60℃，耐酸碱药液蒸汽腐蚀

• 接头结构：万向球头，吸嘴 360° 任意旋转调角

Fluoro福乐 手动吸嘴 进口

5 英寸晶圆专属匹配吸盘

02 系列吸盘宽度全贴合 125mm 晶圆直径，边缘预留安全避让区，不会触碰晶圆边缘脆弱倒角，多孔负压布局平衡整片晶圆受力，超薄减薄晶圆搬运不易变形开裂。

轻量化人体工学手动机械臂

整机不足 40g，笔身防滑防静电握持设计，长时间流水线操作手腕无酸胀；笔杆长度适配标准晶圆盒深度，可直达盒底取放最底层晶圆。

低发尘一体成型工艺

笔身无拼接、无胶水粘接，高纯 PTFE 高温一体注塑，摩擦无碎屑脱落，符合半导体洁净车间颗粒管控标准，杜绝晶圆微短路污染隐患。

三类阀体按需选型，覆盖全制程

实验室研发选用 NC 常闭型，量产流水线选用 NO 常开型，晶圆检测对位选用自锁 NO+SW 型，无需额外改装即可适配不同工序。

多材质吸盘区分工况

PCTFE：通用洁净干燥工序，性价比高；

PEEK：耐磨高强度，频繁取放量产线专用；

Vespel：耐高温、耐强腐蚀，湿法刻蚀、高温烘烤工位专用。