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Fluoro福乐 真空笔 原装供应
  • 产品型号:F003-X-06-VP
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-06-30
  • 访  问  量:9
简要描述:

Fluoro福乐 真空笔 原装供应
用于半导体无尘车间 4 寸硅片湿法腐蚀、清洗、划片工序的手工无损拾取搬运。

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产品详情

日本 FLUORO 福乐 F001/2/3-X-06-VP 为洁净室专用晶圆真空吸笔,专为 4 英寸半导体硅片手动拾取作业开发。整笔采用铁氟龙笔身 + Vespel 吸嘴组合,低析出、耐酸碱腐蚀;内置球形万向接头,可多角度灵活操作。VP 代表吸嘴材质为 Vespel 聚酰亚胺,耐磨耐高温,相比 PEEK 更适合长时间连续作业。型号区分:
  • F001-X-06-VP:NC 常闭阀,松手断真空

  • F002-X-06-VP:NO 常开阀,持续保持负压

  • F003-X-06-VP:常开 + 万向旋转接头,大角度操作工况

Fluoro福乐 真空笔 原装供应

  • 笔身:PTFE 铁氟龙,耐强酸强碱,低微粒析出,符合 Class100 洁净室标准

  • 导管:不锈钢金属杆,配球形万向旋转接头,手腕无需大幅度扭转

  • 吸嘴:Vespel® 聚酰亚胺,耐磨、耐高温、无碎屑,不会划伤晶圆抛光面

  • 控制阀:机械式手动真空开关,负压通断响应迅速,吸力稳定无波动

Fluoro福乐 真空笔 原装供应

  • 耐化学腐蚀

    全流体接触部件耐硝酸等半导体湿法药液,可在腐蚀工艺后直接拾取晶片,不易老化变形。

  • 低放气无尘污染

    全材质低析出,不会产生 VOC 与粉尘,严格满足半导体洁净环境管控要求。

  • 吸盘无损拾取

    Vespel 材质硬度适中,吸附面平整均匀,单片晶圆受力均衡,杜绝边缘崩边、表面划痕。

  • 阀门配置灵活

    常闭款随按随吸,适合间断取放;常开款持续保压,适合连续批量拾片;F003 万向款适配狭小腔体内部操作。

  • 模块化可拆分

    笔杆、导管、吸嘴均可单独拆分更换,只更换损耗吸盘即可维护,使用成本更低。




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