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F001-X-06-VP:NC 常闭阀,松手断真空
F002-X-06-VP:NO 常开阀,持续保持负压
F003-X-06-VP:常开 + 万向旋转接头,大角度操作工况
Fluoro福乐 真空笔 原装
笔身:PTFE 铁氟龙,耐强酸强碱,低微粒析出,符合 Class100 洁净室标准
导管:不锈钢金属杆,配球形万向旋转接头,手腕无需大幅度扭转
吸嘴:Vespel® 聚酰亚胺,耐磨、耐高温、无碎屑,不会划伤晶圆抛光面
控制阀:机械式手动真空开关,负压通断响应迅速,吸力稳定无波动
Fluoro福乐 真空笔 原装
耐化学腐蚀
全流体接触部件耐硝酸等半导体湿法药液,可在腐蚀工艺后直接拾取晶片,不易老化变形。
低放气无尘污染
全材质低析出,不会产生 VOC 与粉尘,严格满足半导体洁净环境管控要求。
吸盘无损拾取
Vespel 材质硬度适中,吸附面平整均匀,单片晶圆受力均衡,杜绝边缘崩边、表面划痕。
阀门配置灵活
常闭款随按随吸,适合间断取放;常开款持续保压,适合连续批量拾片;F003 万向款适配狭小腔体内部操作。
模块化可拆分
笔杆、导管、吸嘴均可单独拆分更换,只更换损耗吸盘即可维护,使用成本更低。