SEN日森 光化学反应器 长治
适配半导体洁净车间、光学镀膜产线、光电零部件加工厂、高校材料科研实验室、第三方精密光学检测机构。

SL5UH-4 是日本 SEN 日森原厂 U 型折弯式冷阴极臭氧紫外灯管，属于 UH 系列标准 5W 规格，同步输出 185nm+254nm 双波段真空紫外光，专为中小型 UV 光清洗腔体、微量臭氧生成设备、材料表面活化改性仪器设计。U 型一体化弯折结构，同等功率下发光面积大于直管笔式灯，适配中等尺寸小型元器件批量干式清洗，兼容半导体、光电、电子精密制程与高校实验室光化学反应设备，是微型 UV 表面处理设备核心标配光源。

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灯管采用高透臭氧型石英玻管，稳定输出两组有效短波紫外：185nm 真空紫外电离空气生成高活性臭氧，254nm 短波紫外提供强氧化分解能力，二者协同作用分解工件表面指纹油脂、光刻胶残屑、脱模剂、松香、微量有机污染物，实现无溶剂干式原子级洁净处理。

核心规格：额定功率 5W，标准驱动电流 15mA，U 型一体式结构，发光段长度充足，照射区域照度均匀无明暗断层；光谱纯净杂光少，臭氧产出速率稳定可控，既能用于大面积小工件批量清洗，也可作为微量臭氧定量制备光源，检测、实验数据重复性高。灯管透光石英耐长期臭氧腐蚀，长期使用紫外衰减缓慢，清洗效果全程稳定。

SEN日森 光化学反应器 长治

• 无灯丝超长使用寿命：冷阴极镍电极结构，无钨丝熔断损耗，平均使用寿命可达 10000 小时以上，大幅减少设备停机换灯频次，降低产线运维耗材成本。

• 低温低热输出，不伤热敏基材：工作管壁温升极低，照射硅晶圆、ITO 光学薄膜、塑胶、树脂、生物试样不会产生高温变形、氧化灼伤，设备无需大功率强制散热，简化腔体结构。

• 瞬时启停，适配间歇工序：无需预热，通电瞬间输出稳定紫外，支持频繁开关机，适配实验室间断实验、小批量间歇清洗产线。

• U 型集成大发光面：一体折弯 U 型设计，单支灯管覆盖照射范围更大，相比 SP 系列直管笔式灯，同等腔体内部可减少灯管装配数量，简化设备布线与安装固定。

• 低功耗节能运行：5W 低功率设计，长期连续工作用电成本远低于传统热阴极卤素紫外光源。