SEN日森 光化学反应器 大同
适配半导体洁净车间、光学镀膜产线、光电零部件加工厂、高校材料科研实验室、第三方精密光学检测机构。

SP-3-2H 是日本 SEN 日森原厂超小型冷阴极笔式臭氧型紫外灯管，为微型精密零件、小区域定点 UV 光清洗、表面活化、微量臭氧发生场景设计，同系列小号规格，全长仅 85mm、发光段 25mm，体积紧凑易嵌入小型清洗腔体、实验室反应设备、便携检测仪器，依靠 185nm+254nm 双波段紫外实现干式无溶剂除污，适配半导体微型芯片、光学小镜片、精密电子元器件微量洁净处理，是小面积精密表面改性设备专用核心光源。

SEN日森 光化学反应器 大同

灯管采用高透臭氧石英管壁，同步输出 185nm 真空紫外与 254nm 短波紫外双波段。185nm 光线电离空气生成臭氧，搭配 254nm 高能紫外产生强光氧化反应，可分解工件表面指纹油脂、光刻胶残屑、脱模剂、松香、微量有机杂质；紫外光子能量高于多数有机物分子键，微小污染物去除无残留。

标准规格：灯管总长 85mm，有效发光长度 25mm，支持配套电源无级调光，紫外输出稳定均匀，无局部明暗差，定点照射区域清洗效果一致性高；光谱纯净杂光少，不会干扰微量臭氧定量制备、材料光化学反应实验数据精度。

SEN日森 光化学反应器 大同

• 超长耐用寿命：无灯丝电极结构，不存在灯丝熔断损耗，平均使用寿命可达 30000 小时，大幅减少设备停机换灯频次，降低产线运维成本。

• 低温低热输出：工作管壁温升极低，照射硅片、ITO 薄膜、塑胶、生物热敏试样不会产生高温变形、氧化灼伤，无需大功率散热系统配套。

• 瞬时启停，适配间歇工序：无需预热，通电即刻输出稳定紫外，支持频繁开关，适配实验室间断实验、小批量间歇清洗工况。

• 小型化：笔式细管引线结构，尺寸小巧，可单支定点照射，也可多支阵列排布，适配狭小腔体、微型清洗设备内部内嵌安装，不占用设备操作空间。

• 低功耗节能：同等照度下能耗仅传统卤素光源 20%，长期连续运行用电成本更低。