SURUGA SEIKI骏河精机 自动XYZ轴平台
骏河精机 KWL06030 紧凑型 XYZ 直线滚珠三轴滑台，一体化出厂校准，微米级三维精密位移，是光学薄膜检测、显微测量、小型半导体样品自动对位的优选位移平台。

KWL06030 属于骏河精机 CAVE‑X 系列一体化XYZ 三轴电动位移平台，搭载直线滚珠导轨结构，由 3 台 KXL06030 单轴滑台精密叠装而成。台面尺寸 60×60mm，三轴有效行程均 30mm，紧凑型一体化装配，出厂完成三轴正交精度校准。搭配 5 相步进电机与 φ8 精密滚珠丝杠，实现微米级三维精密定位，广泛配套光学测量设备、膜厚仪、椭偏仪、显微检测系统、半导体微小样品对位。适合实验室离线检测与小型自动化设备内嵌集成。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动XYZ轴平台

• 导轨形式：直线滚珠导轨（Linear Ball Guide）

  滚动摩擦结构，摩擦阻力低、响应灵敏，运行平顺，适合中小负载高速微小进给；区别于交叉滚子滑台，侧重轻量化、通用光学检测场景。

• 传动机构：φ8mm 滚珠丝杠，导程 1mm

  低导程设计，保障微小步距进给，降低回程间隙；丝杠预压优化，背隙控制≤1μm。

• 本体材质：不锈钢基材，无电解镀镍处理

  防锈、耐轻微粉尘，适合光学实验室常规环境；标配防尘盖板，减少异物侵入导轨丝杠。

• 组装形式：一体式 XYZ 堆叠结构

  出厂完成三轴垂直度校准，客户无需自行组装调试，直接安装使用。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动XYZ轴平台

• 出厂预组装三轴平台

  XYZ 完成正交校正，省去客户叠装、调垂直工序，大幅缩短设备集成周期。

• 高精度稳定定位

  重复定位 ±0.5μm，满足光谱测量、薄膜检测、显微观测等高要求样品平移。

• 防尘封闭结构

  标配盖板，阻挡粉尘掉落至导轨与丝杠，延长使用寿命，降低维护频次。

• 低摩擦顺滑运动

  直线滚珠导轨启停响应快，适合连续扫描、多点自动测量工况。

• 丰富选配方案

  电机刹车、原点感应、多种出线线缆、洁净润滑油脂可选，适配光学仪器、小型真空腔体外围机构。

• 安装通用性强

  台面标准 M4 安装螺纹孔，可直接搭载晶圆载片、光学样品台、载玻片夹具。