SURUGA SEIKI骏河精机 自动XY轴平台 -原厂
骏河精机 KYL06050 一体式 XY 直线滚珠电动滑台， 重复定位精度与不锈钢高刚性机身，作为光学测量、半导体样品定位核心二维位移平台，适配各类精密仪器集成与自动化扫描检测。

KYL06050 属于骏河精机CAVE-X POSITIONER KYL 系列电动 XY 直线滚珠滑台，采用一体式本体直加工哥特式拱形沟槽直线滚珠导轨结构，搭载滚珠丝杠驱动，为紧凑型高精度二维自动位移平台。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动XY轴平台 -原厂

• 台面尺寸：60mm × 60mm

• X/Y 轴行程：50mm（双轴等行程）

• 导轨形式：一体式直线滚珠导轨（哥特式拱形沟槽）

• 驱动机构：φ8mm 滚珠丝杠，可选导程 1mm / 2mm

• 标准电机：5 相步进电机；可选高扭矩、高分辨率、刹车型、αSTEP 闭环电机

• 水平容许负载：10kgf（98N）

• 单轴重复定位精度：±0.5μm

• 直线度：≤3μm

• 空程 / 背隙：≤1μm

• 水平最大移动速度：25～100mm/s

• 主体材质：不锈钢，表面无电解镀镍

• 控制适配：可搭配骏河 DS102 / DS112 运动控制器

• 配置选项：有无防尘护罩、原点限位传感器位置、柔性电缆规格可定制

SURUGA SEIKI骏河精机 自动XY轴平台 -原厂

• 一体式高刚性结构

  本体直接加工导轨沟槽，连接件少；不锈钢材质刚性强，长期运动形变小，适合持续扫描工况。

• 优异定位精度

  重复定位 ±0.5μm，微小进给稳定，满足光学微区测量、晶圆微小样品定位要求。

• 直线滚珠导轨，运行顺滑

  滚动摩擦阻力低，低速无爬行，兼顾高速扫描与微米级微动。

• 耐环境防锈设计

  不锈钢 + 无电解镀镍，粉尘、常规湿度环境适用性优于铝合金滑台。

• 丰富选配方案

  防尘护罩、多种传感器布局、不同规格电机、柔性拖链电缆按需选型，方便设备集成。

• 紧凑外形易于整机嵌入

  标准化安装孔位，可直接集成镀膜设备、光学测量平台、自动化检测工装。