SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台 --原厂
适配光学检测、半导体、锂电检测设备，提供 100mm 行程、30kg 高负载 ±1μm 重复定位的大台面 X 轴精密直线位移平台。

骏河精机（SURUGA SEIKI）创立于 1941 年，日本精密位移平台，深耕微米 / 亚微米级定位模组 80 余年，国内设立上海子公司，全系列滑台核心丝杠、导轨、电机自主自研，是光学耦合、半导体检测、激光加工、实验室精密设备标配运动单元，可搭配岛津色谱、大塚光散射设备搭建全自动检测载物系统。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台 --原厂

• 直线滚珠球导轨导向

  采用 V 型沟槽滚珠循环导轨，钢珠与轨道线接触支撑，滚动摩擦阻力低；三轴俯仰、偏摆、滚转刚性优异，全行程直线度、运动平行度稳定，相比滑动导轨承载更高、寿命更长、行程拓展性更强。

• 滚珠丝杠进给传动

  φ15mm 精密研磨滚珠丝杠，钢珠循环消除间隙，背隙控制≤2μm；通过步进 / 伺服电机驱动丝杠旋转，转化台面直线位移，导程可选 5mm（高分辨率）、10mm（高速运行）两种规格。

• 内置限位原点传感定位逻辑

  滑台本体集成左右硬限位、近原点、狭缝原点三组传感器，无需外部加装感应件；设备上电自动回零，超行程即时停机保护，适配自动化程序循环定位。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台 --原厂

• 台面尺寸：180mm × 180mm，整机厚度 75mm

• 有效行程：100mm

• 水平额定负载：30kgf（294N）

• 丝杠规格：φ15mm，导程 10mm

• 最大移动速度：50mm/s

• 定位精度：单向定位≤15μm

• 重复定位精度：±1μm 以内

• 背隙：≤2μm

• 运动直线度：≤10μm

• 运动平行度：≤20μm

• 俯仰 / 偏摆误差：30″ / 20″

• 适用标准：RoHS 环保十项物质合规