SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台--原装
紧凑型不锈钢一体式滚珠电动 X 轴滑台，为光学设备、半导体检测、分析仪器提供 20mm 行程微米级高精度自动化单轴精密位移定位。

骏河精机（SURUGA SEIKI）创立于 1941 年，日本精密位移平台，深耕微米 / 亚微米级定位模组 80 余年，国内设立上海子公司，全系列滑台核心丝杠、导轨、电机自主自研，是光学耦合、半导体检测、激光加工、实验室精密设备标配运动单元，可搭配岛津色谱、大塚光散射设备搭建全自动检测载物系统。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台--原装

• 哥特式圆弧直线滚珠导轨导向

  底座与动台一体加工成型双列哥特沟槽，钢珠循环滚动支撑，四点接触承载，摩擦阻力低、运动平顺，抗俯仰 / 横摆力矩刚性强，直线度误差极小。

• φ8 滚珠丝杠进给传动

  导程 1mm 精密研磨滚珠丝杆，钢珠循环消除螺纹间隙，整机背隙控制≤1μm，电机旋转精准转化直线位移，无空程漂移。

• 五相步进电机闭环点位控制

  配套专用步进电机驱动器 DS102/DS112，通过脉冲分割细分提升分辨率，配合内置原点、限位光电传感器实现自动回零、超程保护，完成自动化往复精准定位。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台--原装

• 行程：30mm

• 台面尺寸：60×70mm，整机自重 0.9kg

• 负载能力：水平安装 10kgf (98N)，垂直安装 3kgf (29.4N)

• 精度指标

• 单向定位精度：≤5μm

• 重复定位精度：±0.5μm 以内

• 运动直线度：≤3μm

• 运动平行度：≤15μm

• 背隙：≤1μm

• 分辨率

• 全步进：2μm；半步进：1μm

• 1/20 微步细分：0.1μm 超高解析度

• 最大运行速度：20mm/s

• 力矩刚性（抗偏转）

  俯仰 0.06″/N・cm、横摆 0.05″/N・cm、侧倾 0.05″/N・cm

• 合规：符合 RoHS 十项环保标准