SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台-北崎
搭载交叉滚柱 / 直线滚珠双导轨，步进 / 伺服驱动可选，用于光学耦合、半导体检测、实验室分析设备、自动化产线的微米级精准直线定位与样品自动输送。

骏河精机（SURUGA SEIKI）创立于 1941 年，日本精密位移平台，深耕微米 / 亚微米级定位模组 80 余年，国内设立上海子公司，全系列滑台核心丝杠、导轨、电机自主自研，是光学耦合、半导体检测、激光加工、实验室精密设备标配运动单元，可搭配岛津色谱、大塚光散射设备搭建全自动检测载物系统。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台-北崎

• 动力驱动传递

  DC24V 五相步进电机输出扭矩，通过联轴器直连 Φ8 滚珠丝杠，丝杠旋转转化台面直线平移；可选 1mm/2mm 两种导程丝杠，适配高精度低速或高速往返工况。

• 直线滚珠导轨导向

  底座一体化加工哥特式沟槽滚珠导轨，钢珠循环滚动支撑台面，相比交叉滚子导轨摩擦更低、运动更顺滑，直线度、俯仰偏摆误差极小。

• 限位原点传感逻辑

  机身内置左右硬限位，可选侧边 / 居中狭缝原点传感器；设备上电自动回零，控制器识别原点信号建立机械坐标，实现程序重复定点定位。

• 微米级定位控制

  驱动器支持全步 / 半步 / 1/20 微步细分，细分后单脉冲最小移动 0.1μm，搭配极小背隙与空程，多次往返重复定位偏差控制在 ±0.5μm 内。

SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台-北崎

• 基础尺寸：台面 60×60mm，有效行程 50mm；无罩自重 1.28kg，带防尘罩 1.34kg

• 定位精度：单向定位精度≤5μm；重复定位精度 ±0.5μm 以内

• 运动精度：直线度≤3μm；运动平行度≤10μm；俯仰 / 偏摆≤20″/15″

• 传动分辨率（1mm 导程标准款）

• 全步：2μm / 脉冲；半步：1μm / 脉冲；1/20 微步：0.1μm / 脉冲

• 运行性能：最大移动速度 30mm/s；背隙≤1μm，空程≤1μm

• 负载刚性：俯仰 / 横摆 / 侧倾力矩刚性统一 0.05″/N・cm

• 环境适配：标准常温款、洁净室润滑款、真空润滑款三版本可选，符合 RoHS 环保标准。