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骏河精机(SURUGA SEIKI)创立于 1941 年,日本精密位移平台,深耕微米 / 亚微米级定位模组 80 余年,国内设立上海子公司,全系列滑台核心丝杠、导轨、电机自主自研,是光学耦合、半导体检测、激光加工、实验室精密设备标配运动单元,可搭配岛津色谱、大塚光散射设备搭建全自动检测载物系统。
SURUGA SEIKI骏河精机 自动X轴平台-热卖
动力驱动传递
DC24V 五相步进电机输出扭矩,通过联轴器直连 Φ8 滚珠丝杠,丝杠旋转转化台面直线平移;可选 1mm/2mm 两种导程丝杠,适配高精度低速或高速往返工况。
直线滚珠导轨导向
底座一体化加工哥特式沟槽滚珠导轨,钢珠循环滚动支撑台面,相比交叉滚子导轨摩擦更低、运动更顺滑,直线度、俯仰偏摆误差极小。
限位原点传感逻辑
机身内置左右硬限位,可选侧边 / 居中狭缝原点传感器;设备上电自动回零,控制器识别原点信号建立机械坐标,实现程序重复定点定位。
微米级定位控制
驱动器支持全步 / 半步 / 1/20 微步细分,细分后单脉冲最小移动 0.1μm,搭配极小背隙与空程,多次往返重复定位偏差控制在 ±0.5μm 内。
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基础尺寸:台面 60×60mm,有效行程 50mm;无罩自重 1.28kg,带防尘罩 1.34kg
定位精度:单向定位精度≤5μm;重复定位精度 ±0.5μm 以内
运动精度:直线度≤3μm;运动平行度≤10μm;俯仰 / 偏摆≤20″/15″
传动分辨率(1mm 导程标准款)
全步:2μm / 脉冲;半步:1μm / 脉冲;1/20 微步:0.1μm / 脉冲
运行性能:最大移动速度 30mm/s;背隙≤1μm,空程≤1μm
负载刚性:俯仰 / 横摆 / 侧倾力矩刚性统一 0.05″/N・cm
环境适配:标准常温款、洁净室润滑款、真空润滑款三版本可选,符合 RoHS 环保标准。