ULVAC爱发科 涡轮分子泵 原厂
适配科研分析、光学镀膜、晶圆制造、薄膜量产全行业超高真空排气需求。

爱发科涡轮分子泵是生成高 / 超高洁净真空核心主泵，依靠高速涡轮转子叶片撞击气体分子实现抽气，全程无油污染；全系列分为陶瓷球轴承小型 YTP/UTM-B、五轴磁悬浮 UTM 通用款（MS/MI）、工艺耐腐蚀 UTM-FH/FW 重载系列三大产品线，抽速覆盖 70~4400L/s，极限真空可达 10⁻⁷Pa，适配实验室分析仪器、光学镀膜、半导体刻蚀 / CVD、面板产线等高真空场景，需搭配隔膜干泵、油旋片泵、螺杆干泵作为前级预抽泵使用。

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 原厂

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 原厂

• 无油洁净超高真空

  磁悬浮机型无轴承润滑油挥发，烘烤后极限真空可达 10⁻⁷Pa，无油污染，满足半导体、光学薄膜严苛洁净要求。

• 低振动低噪音

  高精度动平衡转子，磁悬浮无机械接触，振动极小，适配质谱、电镜等对震动敏感的精密分析设备。

• 安装自由度高

  全磁悬浮系列支持任意角度安装，腔体设备结构设计不受限制。

• 转速可调 + 智能监控

  转速 25%~100% 连续可调，精准控制腔体内真空压力；实时监测温度、振动、转速，故障自动报警，支持远程上位机通讯。

• 超长免维护周期

  磁悬浮轴承无磨损，常规维护周期 2~3 年；陶瓷球轴承款仅需定期检查润滑，维保成本低。

• 宽背压耐受

  优异气体压缩比，可搭配小型前级干泵，降低整套真空机组采购成本。