ULVAC爱发科 油旋片真空泵 北崎
爱发科油旋片真空泵覆盖微型精密仪器、实验室通用、工业量产全场景，GLD 系列为市面流通爆款，GHD/GV 磁力耦合款解决漏油痛点，提供稳定粗真空预抽与腔体作业真空。

爱发科油旋片真空泵依靠油液密封 + 润滑双级旋片结构，获取稳定粗 / 低真空，是品牌出货量最高、覆盖场景最多的通用真空基础设备；分为GLD 标准直联系列、GHD 微型磁力耦合系列、GV 工业磁力耦合大抽速系列三大产品线，兼顾实验室精密仪器、小型镀膜、工业批量产线、氦检配套前级泵，真空稳定、维保简单、配件全球通用，国内实验室、制造业保有量常年第一。

ULVAC爱发科 油旋片真空泵 北崎

• 稳定高真空：双级压缩结构，关气镇极限真空 0.67Pa，满足绝大多数粗真空、前级预抽需求；

• 防倒灌保护全系标配防逆流阀，突发断电不会出现泵油倒吸损坏样品与腔体；

• 气镇通用设计，通入干燥空气稀释水汽，可长期抽取含水、有机溶剂蒸汽；

• 低运维成本：旋片、泵油、滤芯标准化耗材，国内代理商现货充足，更换简单；

• 合规配套：出厂附带性能检测报告，可配套镀膜、半导体、实验室设备满足 ISO17025 溯源要求。

ULVAC爱发科 油旋片真空泵 北崎

• 安装：水平放置，进气口加装粉尘 / 冷凝过滤瓶，避免液体、粉尘进入泵腔；

• 注油：加注爱发科原厂 R-7/R-4 真空泵油至油位刻度区间；

• 开机：空载运行 5 分钟预热，再接入腔体抽真空；含水汽工况打开气镇阀；

• 停机：先关闭腔体阀门，维持泵运转 1-2 分钟吹扫内部水汽后再断电；

• 长期停机：排空泵内旧油，封存防尘。