ULVAC爱发科 隔膜型干泵 原厂
适配实验室化学溶剂处理、精密仪器、半导体微量脱气等需要洁净无油、耐化学腐蚀的低真空工况。

爱发科隔膜型干式真空泵依靠氟橡胶隔膜往复运动完成气体抽吸压缩，全程无油润滑，无油雾返流污染；整机微型轻量化，分为DA 标准洁净系列、DTC 全氟耐腐蚀系列、DTU 高真空防腐系列三大产品线，抽速覆盖 20~60L/min，极限真空 3.3~1000Pa，专为实验室微量真空、有机溶剂 / 腐蚀性气体抽取、小型设备洁净真空源打造，是小型无油真空基础设备。

ULVAC爱发科 隔膜型干泵 原厂

• 全程无油洁净：无润滑油、无油雾返流，不会污染样品、腔体、药液，满足实验室洁净检测要求；

• 分级防腐方案：DA 普通洁净、DTC/DTU 全氟防腐，区分洁净 / 化学腐蚀工况，选型灵活；

• 微型低噪低振：机身小巧台式摆放，运行噪音低，可放置实验台直接使用；

• 维护简单低成本：仅隔膜、阀片为易损件，原厂配套保养套件，更换便捷；

• 多规格适配：单级大流量、双级高真空、气镇防潮蒸汽、直流便携多种细分型号；

• 安全稳定：无油水泄漏风险，抽取有机溶剂无起火隐患，适配化学实验室规范。

ULVAC爱发科 隔膜型干泵 原厂

• 化学实验室：旋转蒸发、真空浓缩、溶剂脱泡、微量反应釜、液相色谱配套；

• 半导体 / 光学：光刻药液脱气、晶圆微型真空吸附、光学镜片真空夹持；

• 精密分析仪器：质谱、电镜小型前级真空源、气体微量脱气；

• 医疗生物：真空过滤、细胞样品负压处理、小型无菌吸附设备；

• 轻工业：印刷薄膜吸附、小型真空包装、真空镊子负压气源。