ULVAC爱发科 螺杆型干泵
适配半导体、光学、锂电、实验室各类量产与研发真空抽气工况。

爱发科螺杆型干式真空泵为无油洁净真空获取设备，依靠双平行螺杆转子非接触啮合输送气体，全程无润滑油介入，不会产生油蒸汽污染腔体；分为水冷工业主力LS 系列、风冷紧凑型CR 系列、耐腐蚀粉末专用MS 系列、锂电大流量SCY 系列四大产品线，抽速覆盖 16~1200m³/h，适配实验室、半导体、锂电、镀膜、热处理等全场景量产与研发真空工况，可 24 小时连续稳定运行，解决油式泵返油、乳化、频繁换油维护痛点。

ULVAC爱发科 螺杆型干泵

• 无油干式结构：转子与泵体微小间隙非接触运转，无润滑油、无油蒸汽返流，满足半导体、锂电、医药洁净生产标准；

• 低脉动稳定抽气：螺杆轴向匀速输送气体，压力波动小，腔体真空度稳定；

• 防腐选配：全氟密封、氮气吹扫、气镇阀、粉尘过滤模块，适配水汽、腐蚀、含粉尘工艺；

• 智能状态监测：标配温度、电流、压力传感器，故障预警，支持 RS485 通讯对接产线 MES 系统；

• 长周期维护：常规洁净工况维护周期可达 6000~8000 小时，仅更换滤芯、密封件，无频繁换油成本。

ULVAC爱发科 螺杆型干泵

• 安装配置

• LS/SCY/MS 水冷款：配套循环冷却水机，进水温度控制 20~28℃；

• CR 风冷款：设备四周预留≥30cm 通风散热空间，远离热源；

• 腐蚀 / 粉尘工况：进气前端加装粉尘过滤、冷凝回收装置。

• 开机流程

  检查管路密封→开启冷却 / 通风→通电空载预热 10min→开启气镇 / 氮气吹扫→接入腔体抽真空。

• 停机规范

  先隔离腔体→持续吹扫 5~10min 排出残留工艺气体→空载降温后断电，避免介质凝结腐蚀转子。