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Fluoro福乐 手动吸嘴 原装供应
  • 产品型号:M100-300L
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-07-02
  • 访  问  量:2
简要描述:

Fluoro福乐 手动吸嘴 原装供应
仅适用于室内 Class100 及以上洁净无尘车间,普通车间粉尘会堵塞吸盘微孔、污染晶圆。

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产品详情

日本 FLUORO 福乐 12 寸晶圆真空笔属于洁净室手动真空机械拾取臂,行业俗称晶圆真空吸笔,专为 300mm(12 英寸)大尺寸硅晶圆人工转运开发,分为 C 系列标准防静电款、F 系列特氟龙防腐蚀两大产品线,核心型号 C001-Y-99-CP、F001-Y-15-3F、F002-Y-15-VP,整套由抗静电笔身阀体、12 寸整片分布式真空吸盘、抗静电真空软管、配套无油真空泵组成,等效简易手动机械臂,替代传统金属晶圆镊子,适配半导体前道光刻、刻蚀、湿法清洗、薄膜沉积、晶圆检测、划片、封装全制程人工上下料操作,满足 Class100/Class1 洁净车间低尘、防静电、无划伤严苛标准。

Fluoro福乐 手动吸嘴 原装供应

  • 适配晶圆:300mm(12 英寸)标准硅片、超薄外延片、SOI 晶圆、玻璃载片

  • 真空负压:0~-80kPa 无级可调,稳定承载 0.1~500g 大尺寸晶圆

  • 阀体分类:常闭 NC(F001/C001 按压吸、松开放)、常开 NO(F002/C002 持续供气)、自锁 NO+SW(F003/C003 持续保压)

  • 主体材质:C 系列导电尼龙(ESD 10⁶~10⁸Ω);F 系列一体 PTFE 特氟龙全氟树脂

  • 12 寸专用吸头:导电 PEEK、PCTFE、Vespel 三材质可选,整片多孔分布式吸附

  • 笔身长度:加长 Y 型固定杆 245mm,X 万向球头 360° 多角度操作

  • 洁净等级:符合半导体 1 级无尘标准,阀体内壁镜面抛光,低放气、低微粒析出

  • 配套气源:专用 FV 系列无油干式真空泵,无油气污染晶圆表面

Fluoro福乐 手动吸嘴 原装供应

12 寸专属加长机械臂结构

针对 300mm 大晶圆加长杆体,操作距离充足,人手无需伸入洁净设备腔体,避免人体污染物掉落晶圆;笔身轻量化仅 28g,长时间连续转运不易手部疲劳。

模块化快拆替换设计

笔身阀体与 12 寸吸盘卡扣式快拆,无需工具即可更换不同材质吸头,一台笔身可切换干法、湿法场景;管路标准快插接口,拆装便捷,便于洁净室离线清洗灭菌。

分体式材质选型适配多制程

C 系列导电尼龙:量产产线标准干法检测、封装,性价比高

F 系列 PTFE 特氟龙:湿法酸洗、高腐蚀药液环境,全机身耐强酸强碱

Vespel 吸头:高温制程、长时间连续操作,耐磨不易变形


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