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Fluoro福乐 手动吸嘴 原装供应
适配晶圆:300mm(12 英寸)标准硅片、超薄外延片、SOI 晶圆、玻璃载片
真空负压:0~-80kPa 无级可调,稳定承载 0.1~500g 大尺寸晶圆
阀体分类:常闭 NC(F001/C001 按压吸、松开放)、常开 NO(F002/C002 持续供气)、自锁 NO+SW(F003/C003 持续保压)
主体材质:C 系列导电尼龙(ESD 10⁶~10⁸Ω);F 系列一体 PTFE 特氟龙全氟树脂
12 寸专用吸头:导电 PEEK、PCTFE、Vespel 三材质可选,整片多孔分布式吸附
笔身长度:加长 Y 型固定杆 245mm,X 万向球头 360° 多角度操作
洁净等级:符合半导体 1 级无尘标准,阀体内壁镜面抛光,低放气、低微粒析出
配套气源:专用 FV 系列无油干式真空泵,无油气污染晶圆表面
Fluoro福乐 手动吸嘴 原装供应
12 寸专属加长机械臂结构
针对 300mm 大晶圆加长杆体,操作距离充足,人手无需伸入洁净设备腔体,避免人体污染物掉落晶圆;笔身轻量化仅 28g,长时间连续转运不易手部疲劳。
模块化快拆替换设计
笔身阀体与 12 寸吸盘卡扣式快拆,无需工具即可更换不同材质吸头,一台笔身可切换干法、湿法场景;管路标准快插接口,拆装便捷,便于洁净室离线清洗灭菌。
分体式材质选型适配多制程
C 系列导电尼龙:量产产线标准干法检测、封装,性价比高
F 系列 PTFE 特氟龙:湿法酸洗、高腐蚀药液环境,全机身耐强酸强碱
Vespel 吸头:高温制程、长时间连续操作,耐磨不易变形