Fluoro福乐 手动吸嘴 北崎
真空笔仅可吸附 5 英寸晶圆背面，严禁接触正面光刻、金属线路层，负压会损伤电路结构。

Fluoro福乐 手动吸嘴 北崎

• 适配晶圆：6 英寸（150mm）半导体硅片

• 负压调节：0~-80kPa 无级调压，适配超薄 / 标准厚度晶圆

• 承载重量：稳定抓取≤500g 整片晶圆，无变形滑落

• 静电防护：导电笔身电阻率 10⁶~10⁸Ω，持续泄放静电，杜绝芯片击穿

• 吸头材质：导电 PEEK/PCTFE/Vespel，无硅橡胶析出、不划伤晶圆背面

• 阀体结构：镜面抛光内腔，低发尘、微粒堆积极少，符合 Class100 无尘标准

• 整机重量：26~37g 轻量化人体工学笔式手柄，长时间手持不累

• 阀门类型：F001 常关 NC（按吸松放）、F002 常开 NO（按放松吸）、C003 带独立切断开关

• 配套气源：匹配 FLUORO FV 系列无油真空泵、防静电螺旋真空软管

Fluoro福乐 手动吸嘴 北崎

6 寸晶圆专属成型吸头

91-CP 导电 Y 型吸头为 6 英寸晶圆定制，接触面积匹配硅片直径，相比通用小吸头吸附更平稳，边缘受力均匀，转运超薄晶圆不易崩边。

双材质产品线覆盖全制程

抗静电尼龙款适配干燥光刻、检测、封装；全特氟龙防酸款适配湿法腐蚀、清洗工序，兼顾无尘、耐腐双重需求。

超轻人体工学手持机械臂

笔式细长手柄，单指操控阀门，重量不足 40g，8 小时连续手工搬运手腕无酸胀，适配实验室、小批量产线高频上下料。

洁净室低微粒设计

无粘接缝隙一体成型吸头、镜面抛光阀腔，不会脱落塑料碎屑；不含硅橡胶部件，无小分子析出污染晶圆表面。

宽工况稳定适配

工作温度 - 10℃~60℃，常温洁净间、低温冷却工位、湿法药液槽边均可稳定使用；无耗材滤芯堵塞风险，维护简单。