Fluoro福乐 手动吸嘴
本产品仅限 ISO5 及以上洁净室内使用，普通车间粉尘环境会大幅缩短使用寿命。

Fluoro福乐 手动吸嘴

• 适配工件：4 英寸（100mm）半导体硅晶圆、玻璃衬底、碳化硅薄片

• 整机长度：221mm，净重 32~33g，单手长时间操作无疲劳

• 负压区间：0~-80kPa 无级调压，标准配套 FV-60 无油洁净真空泵

• 阀体分类：NC 常闭、NO 常开、NO+SW 自锁开关三款阀型可选

• 主体材质：Z 系列一体 PTFE 铁氟龙（耐酸碱湿法工艺）；X 系列导电防静电尼龙（干制程）

• 吸嘴材质三选一：PEEK、Vespel、PCTFE，全部导电防静电、低发尘

• 接头结构：万向球头旋转接头，吸嘴 360° 自由转向；标准 110 真空管路接口

• 使用环境：ISO5/6 级无尘洁净室，耐温 - 20~130℃，适配酸碱药液槽旁作业

Fluoro福乐 手动吸嘴

4 英寸晶圆专属匹配吸嘴

06 系列平面吸嘴尺寸精准适配 4 寸硅片背部，吸附覆盖面积适中，吸力平衡不打滑、不形变，无法用于大尺寸晶圆，专门优化 100mm 晶圆受力模型。

低微粒洁净室标准制造

阀体内部镜面抛光，无积尘；氟树脂 / PEEK 材质不掉粉、不析出有机物，出厂无尘包装，开箱直接进入无尘车间，无需二次清洗。

轻量化人体工学笔身

仅 32g 纤细手持结构，长时间批量取放手腕无酸胀；防滑氟树脂手柄，戴无尘乳胶手套不打滑。

气密长效密封结构

内部氟橡胶阀芯密封，数万次按压不漏真空，负压稳定无衰减，避免转运途中晶圆掉落破损。

全工况宽温稳定运行

高低温工艺、酸碱湿法、干燥封装车间通用，高温制程无材质软化变形，低温环境无密封硬化漏气。

原厂成套配套方案

可搭配福乐 FV-60 无油真空泵、洁净真空软管、过滤滤芯整套使用，负压输出稳定，无油污污染晶圆。