Fluoro福乐 真空笔 -原装供应
适用于 200mm 硅晶圆刻蚀、湿法清洗、镀膜、芯片检测、封装全流程无损真空转运。

Fluoro福乐 真空笔 -原装供应

• 高纯特氟龙一体成型吸附面

  吸盘整片无粘接缝隙，分布式多孔负压导流槽全覆盖 8 寸晶圆背部，负压均匀分散，杜绝单点应力造成超薄硅片崩边、隐裂；接触面全圆弧钝化处理，无尖锐棱角，不会刮伤晶圆正面光刻线路与金属镀层。PTFE 特氟龙材质无微粒析出，擦拭后无粉尘残留，严格满足洁净室微粒管控要求。

• 多重防静电 ESD 防护功能

  可选导电复合特氟龙、PEEK、Vespel 三类基材，表面电阻率稳定维持 10⁶~10⁸Ω，搬运摩擦产生的静电可实时导出，规避芯片 PN 结静电击穿报废风险；配套抗静电波纹管全程隔绝静电累积，适配静电敏感的存储、曝光工位。

• 耐化学腐蚀适配酸碱工位

  特氟龙基材不与光刻剥离液、各类清洗酸碱溶剂发生化学反应，可直接在酸蚀、湿法清洗工位转运晶圆，普通橡胶、塑胶吸盘易被药液溶胀掉粉，本款吸盘长期浸泡无变形、无材质析出污染晶片。

• 双形态适配复杂机台空间

  分为 Z 型固定式直杆吸盘、X 型 360° 万向旋转吸盘两款结构；Z 型适合标准化流水线垂直取片，X 型万向球头可多角度微调，适配狭小晶盒、镀膜机内部狭窄空间取放，无需调整晶圆载台位置。

• 模块化快拆互换结构

  吸盘与吸笔笔身采用旋转锁扣快拆设计，无需任何工具即可拆装，可快速切换 5/6/8 寸不同规格吸盘，单支吸笔兼容多尺寸晶圆产线，降低车间工具库存成本。

Fluoro福乐 真空笔 -原装供应

• 真空泵停机泄压，无尘布清洁吸笔笔身锁扣接口粉尘；

• 将 8 寸特氟龙吸盘对准锁扣卡槽，顺时针旋紧至无晃动，保证内部气路全密封不漏真空；X 万向款调节取片角度后锁紧定位螺母；

• 连接原厂抗静电真空波纹管，接头缠绕 PTFE 密封带，杜绝负压渗漏；

• 开机空载测试吸盘吸附密封性，使用空白 8 寸硅片模拟完整取放流程，确认吸附稳定、无打滑偏移后，投入产线正式作业。