Fluoro福乐真空笔-北崎
主要用于半导体实验室、中小产线 5 英寸硅片人工上下料；晶圆清洗、湿法腐蚀、光刻、镀膜工序手动取放；超薄晶圆、玻璃基片、陶瓷晶片的洁净无污染转运。

Name: Fluoro福乐 真空笔-北崎F002-X-02-VP
Brand: FLUORO/日本福乐
Price: 4692 CNY
Availability: InStock

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产品详情

日本 FLUORO 福乐 F 系列真空吸笔，专为5 英寸半导体硅晶圆人工搬运开发，笔身与吸盘头部采用 Teflon® 特氟龙（PTFE）氟树脂一体制作，无金属析出污染，配套平面晶圆专用吸盘头，是洁净室晶圆分拣、取放、转移的无微粒手动真空拾取工具，主流型号：F001-X-02-3F、F002-X-02-3F。

Fluoro福乐真空笔-北崎

无损取片，杜绝晶圆损伤
整片平面吸盘贴合 5 寸整片晶圆，吸附受力均匀；特氟龙软质接触面，无压痕、划痕、崩角，适合薄型硅片人工操作。
全氟材质，高耐化学性
耐强酸、有机溶剂，可直接在酸洗槽、清洗台抓取湿片，长期浸泡不溶出、不变形。
低发尘，满足半导体洁净管控
整体无塑料碎屑脱落，阀体内部精加工，符合半导体前道工序的颗粒物管控标准。
真空吸力可调，操作稳定
负压 0~-80kPa 自由调节，轻量笔身，长时间手持作业不易疲劳，抓取牢固、释放干脆无粘片。
模块化互换
5 寸专用晶圆吸盘头可单独拆装，可同吸笔本体自由更换 2~8 寸多款吸嘴，一机多用。

Fluoro福乐真空笔-北崎

将特氟龙晶圆吸盘拧紧固定在笔杆前端，保证端面平整无歪斜；
后端接入洁净真空管路，锁紧气管接头，无漏气；
接入小型真空阀，预先把负压调节至合适吸力，避免吸力过大吸裂薄晶圆。

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Fluoro福乐真空笔-北崎
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