Fluoro福乐 真空笔 北崎有售
用于洁净室 4 寸晶圆湿法蚀刻、清洗工序的无损伤手动拾取搬运。

Fluoro福乐 真空笔 北崎有售

• 耐化学腐蚀，适配湿法工序整支笔体采用 PTFE 铁氟龙一体加工，耐硝酸、各类蚀刻药液，不会被酸碱侵蚀掉渣，满足晶圆清洗、腐蚀后的拾取作业，区别于普通尼龙防静电款。
• ESD 静电防护，保护器件PEEK 吸嘴具备稳定导电性能，表面电阻率控制在防静电区间，可导出静电，杜绝芯片、晶圆被静电击穿；吸嘴表面高光抛光，拾取时不会在晶片表面产生划痕与微粒污染。
• 按键阀结构，操作稳定精密内置阀芯，内腔镜面抛光，减少粉尘堆积；一键吸附、一键释放，真空启停干脆，不会出现漏气、吸力忽大忽小，长时间连续操作手感稳定。
• 轻量化人体工学设计仅 33g，笔身纤细握持顺手，长时间手动分拣不易疲劳；直插式吸嘴可徒手快速更换，无需工具，多种吸嘴可互换通用。
• 低发尘洁净等级全材质无析出、不掉碎屑，符合半导体洁净室管控标准，不会污染晶圆表面。

Fluoro福乐 真空笔 北崎有售

• F001-Z（NC 常关）：对准晶片，按下顶部按键→产生真空吸住；松开按键→断真空自动放下。

• F002-Z（NO 常开）：常态保持真空，按住按键切断负压，用来释放工件。

• F003-Z：可自由切换常开 / 常关两种模式，适配不同操作习惯。