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C001-Y-98-CP(NC 常闭)
常态无真空;按住手柄按键产生负压、吸住晶片;松开按键断气、工件落下。适合频繁间歇拾取。
C002-Y-98-CP(NO 常开)
接通气源就持续保持真空,一直吸住;仅在按下按键时切断真空、放下工件。适合长距离转运。
C003-Y-98-CP(NO+SW 带总锁)
在常开基础上增加总开关,可一键锁死真空回路,无需一直按住按键,长时间作业更省力,适合较重晶圆搬运。
Fluoro福乐 真空笔 辽宁
总长:280mm
整机重量:27g,轻量化手持不疲劳
外壳材质:导电碳纤维尼龙,防静电(ESD)
吸嘴材质:导电 PEEK,洁净无尘、耐温耐化学品,不划伤晶圆表面
真空负压:0~-80kPa 无级调压,吸力稳定
适用工件:8 寸半导体硅片、玻璃基板、大尺寸光学片
连接接口:后端标准真空软管快插接口
Fluoro福乐 真空笔 辽宁
防静电洁净设计
整体为导电结构,消除静电击穿风险;PEEK 吸头镜面精加工,发尘量极低,适配半导体洁净车间。
气密性持久稳定
内部阀芯采用氟树脂密封件,碳纤维包覆成型,长期反复启闭不漏气,阀件寿命长。
模块化快换结构
笔身通用,仅更换 95/96/97/98/99-CP 不同吸嘴,即可切换 5~12 寸不同晶圆,通用性强。
无损拾取
多槽分散负压,不会在薄片上产生局部负压凹陷,避免硅片、薄玻璃产生形变与裂纹。