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整套分为笔身阀体 + 吸头两件,需分开下单:
笔身阀体:C001-X(带 106 接头)、C002-X(带 106 接头)、C003-X(带 106 接头)
吸头阀芯:96-CP(导电 PEEK 材质)
X:球形万向旋转接头,可多角度灵活操作;Y 为固定式接头
C001:常闭 NC,按住按钮吸附,松开释放
C002:常开 NO,松开按钮吸附,按住释放
C003:常开 NO+SW 总开关,可锁止真空通断
96-CP:6 寸晶圆专用宽幅导电 PEEK 吸嘴
Fluoro福乐 真空笔 保定
笔体:碳纤维传导尼龙,表面电阻率 10⁶~10⁸Ω,满足 ESD 洁净室标准,杜绝静电击穿芯片、晶圆。
阀芯:内部阀件为氟树脂,气密性高,不易产生粉尘颗粒。
吸嘴尖:导电 PEEK 材料,耐酸碱、耐高温,表面镜面抛光,不会划伤玻璃、硅片、光学元件,洁净度等级满足半导体无尘车间要求。
外形尺寸:总长 239mm,整机重量仅 23g,长时间手持操作不易疲劳。
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真空无级调节:外接负压气源,负压区间 0~-80kPa,可抓取 0.1g~500g 的工件,吸力稳定无抖动。
万向球形接头(X 型):吸头可以自由转动,在狭小腔体、载片台多角度拾取物料,无需反复挪动整支笔身。
模块化快拆:吸嘴与笔身螺纹连接,90/95/96/97-CP 多款吸嘴可快速互换,适配 3~8 寸不同尺寸硅片。
低微粒结构:阀腔内壁抛光处理,减少粉尘堆积,长期使用不会污染晶圆表面,适配半导体封装、光学车间无尘环境。
三种阀型可选:
C001-X:常闭,按钮按下才产生真空;
C002-X:常开,常态保持真空,按下断气放料;
C003-X:常开 + 总锁止开关,可临时切断真空,中途暂停作业。