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本款为日本 FLUORO 福乐 C 系列球形万向接头真空吸笔,专为 5 寸半导体晶圆、芯片、光学元件无损拾取设计,严格符合洁净室 ESD 防静电规范。产品采用分体式结构,阀体笔身与吸头分开订货:阀体型号 C001/002/003-X (带 106),吸头型号 95-CP,吸头尖为导电 PEEK 材质,不划伤工件、不产生静电污染。整笔总长 239mm,自重仅 23g,长时间手持作业不易疲劳。
Fluoro福乐 真空笔 天津
C001-X-95-CP(常闭 NC)
常态关闭,按住按键产生真空吸附,松开立即断气释放,是晶圆拾取常用款式。
C002-X-95-CP(常开 NO)
常态持续通气,按下按键切断真空,适合连续下料作业。
C003-X-95-CP(常开 + SW 自锁开关)
带锁定装置,按下可保持持续吸气,无需一直按住按钮,适合长时间抓取静置工件。
后缀 X 代表球形万向旋转接头,可以 360° 自由扭转角度,多角度拾取晶圆。
Fluoro福乐 真空笔 天津
防静电结构(ESD 安全)
笔身:导电尼龙,表面电阻率 10⁶~10⁸Ω,可导出静电;
吸头:导电 PEEK 聚醚醚酮,镜面抛光,无毛刺、无粉尘,杜绝晶片表面划痕,耐酸碱、耐高温,适配酸碱洁净制程。整笔无外露金属件,避免金属微粒污染晶圆。
精密真空阀组
阀体内腔镜面抛光,减少粉尘堆积,气密性长期稳定;负压可在 0~-80kPa 区间微调,稳定抓取 0.1g~500g 的硅片、芯片、玻璃基板,吸力柔和不会压坏超薄晶圆。
万向接头设计
X 型球形万向接头,管路可以任意转动,不会拉扯管线,狭小腔体内部取放元件更加灵活。